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ag8亚洲海创电气有限责任公司
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BSM（中频磁控溅射电源）：实用于中频孪生靶磁控溅射金属或非金属质料，分外合适于反响磁控溅射镀制ITO膜、介质膜等。本电源能增长离化率，增加电荷积聚惹起的非常放电，防备靶外表中毒征象。
B系列双极性电源接纳****的高频逆变技能，体积小，分量轻，服从高。普遍使用于真空镀膜、感到加热、辉光洗濯等范畴。提供多种控制接口，利便客户完成主动控制体系的开辟使用
用处 ：● 真空镀膜 ● 感到加热 ● 辉光洗濯 ● 特别定制 |
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B系列 |
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电源功率范畴 |
5-100kW |
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输出电压 |
AC380V±5%, 50Hz |
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输入波形 |
BS对称双极性脉冲 |
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BA非对称双极性脉冲 |
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电源品种 |
中频磁控贱射电源 |
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微弧氧化电源 |
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事情方法 |
恒流 |
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恒流、恒功率 |
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恒压、恒流、恒功率 |
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输入波动率 |
1%F.S |
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输入频率 |
20 kHz、40kHz 【注】 |
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输入占空比 |
80% 【 注1 】 |
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输入电压范畴 |
200-1000V |
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输入电流范畴 |
5-200A |
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输入接口 |
模仿0-5V或0-10V
RS485通讯 |
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通讯协议 |
MODBUS | 【注】微弧氧化电源频率为200Hz-2000Hz，其峰值电流可到达1000A
【注1】微弧氧化电源占空比可调。 |
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