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  产品分类
  D系列直流电源
  U系列单极性脉冲电源
  B系列双极性脉冲电源
 
  联系方法
 

ag8亚洲海创电气有限责任公司
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商务>###(王老师)18980049103(欧老师)
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地点:ag8亚洲成都市双流县西航港经济开辟区起飞7路569号

产品展示
UM(单极脉冲磁控溅射电源)
UM(单极脉冲磁控溅射电源):具有均匀电流稳流功效,实用于金属、合金及石墨等靶材镀制纯金属膜、碳膜和局部氧化物、氮化物及碳化物膜。能分明改进靶面电荷积聚征象,增加溅射靶外表的打火次数,进步膜层质量。
U系列脉冲电源接纳****的高频逆变技能,体积小,分量轻,服从高。具有主动灭弧功效。普遍使用于真空镀膜、等离子体使用等范畴。提供多种控制接口,利便客户完成主动控制体系的开辟使用。
用处 :● 真空镀膜 ● 特别定制

U系列

电源功率范畴

5-100kW

输出电压

AC380V±5%,50Hz

输入波形 

单极性脉冲

电源品种

磁控贱射电源

偏压电源

离子源

事情方法

恒流

恒压

输入波动率

1%F.S

输入频率

40 kHz 、60 kHz 80kHz

输入占空比

10%~80%

输入电压范畴

50-1200V

输入电流范畴

5-100A

输入接口

模仿0-5V或0-10V

RS485通讯

通讯协议

MODBUS

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