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UM(单极脉冲磁控溅射电源):具有均匀电流稳流功效,实用于金属、合金及石墨等靶材镀制纯金属膜、碳膜和局部氧化物、氮化物及碳化物膜。能分明改进靶面电荷积聚征象,增加溅射靶外表的打火次数,进步膜层质量。 U系列脉冲电源接纳****的高频逆变技能,体积小,分量轻,服从高。具有主动灭弧功效。普遍使用于真空镀膜、等离子体使用等范畴。提供多种控制接口,利便客户完成主动控制体系的开辟使用。 用处 :● 真空镀膜 ● 特别定制 |
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U系列 |
电源功率范畴 |
5-100kW |
输出电压 |
AC380V±5%,50Hz |
输入波形 |
单极性脉冲 |
电源品种 |
磁控贱射电源 |
偏压电源 |
离子源 |
事情方法 |
恒流 |
恒压 |
输入波动率 |
1%F.S |
输入频率 |
40 kHz 、60 kHz 80kHz |
输入占空比 |
10%~80% |
输入电压范畴 |
50-1200V |
输入电流范畴 |
5-100A |
输入接口 |
模仿0-5V或0-10V
RS485通讯 |
通讯协议 |
MODBUS | |
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